在线气体浓度计
IR-150
(制造单位:HORIBA STEC有限公司)
概要
在线气体监测仪 IR-150系列是使用了NDIR法(非分散型红外吸收法)的半导体气体浓度监测仪。
它可以在线检测用于化合物半导体制造工艺的液体材料 TMAI、TMGa、TMIn、DEZn 等固体以及液体材料中发生气化的气体浓度。
特点
最适于MOCVD用液体,固体材料气体的浓度管理
实现了与MFC相等的操作通用性和价格统一性。
在线实时检测浓度。
配备有安全探测安全系统(SDSS),支持将来的300mm全自动晶圆生产。
系统中包括浓度、压力的报警,和报警输出。
小巧、可随意安装设置,不需要选择空间
具备超群的性价比,最适于生产线中的浓度管理。
规格
型号 |
IR-150 |
对象气体 |
TMAl, TMGa, TMIn,DEZn |
校正气体 |
C3H8 |
测量浓度 |
7%/1% |
测量方式 |
红外线分析法(NDIR法) |
检测单元长度 |
5mm/50mm |
再现性 |
±2%FS |
响应性 |
40sec(T90) Typical 20sec |
外形尺寸图 (mm)
使用环境?用途?优点
最适于MOCVD用液体?固体材料生产线的浓度管理,实现了与 MFC同等的操作通用性和价格。
使用环境
GaAs设备以面向手机方面的需求为主,其市场不断扩大,预计在卫星广播、卫星通信气体、地面基站间通信系统、高速网络、以及毫米波带中的用途今后还会进一步增加。
光设备的CD/MD、CD-ROM、DVD运用半导体激光等需求也正在急速扩大。在化合物半导体元件制造中,一般是MOCVD以及MBE的外延成长。
用途
在MOCVD以及MOVPE等中,在气缸内对TMAI、TMGa、TMIn、DEZn等固体和液体材料进行加温气化,供应给Use-Point。
在气缸内被加温的材料气体有可能因为气缸的温度和压力、以及材料的余量不同而出现浓度变化。
膜厚变动会给元件特性带来很大影响,为了尽可能减少这种影响,材料浓度的稳定也是其中重要的因素,这就需要对浓度进行监测。
在线气体监测的必要性
在半导体制造工艺中液体材料的増加
↓
通过液体材料气体的载气流量控制直接气化供应,在发泡供应中,由于蒸气压力变化,供应浓度将会发生变化。
↓
产生气体实时浓度监测的必要性
浓度回馈控制的愿望
优点
通过In-situ可以实时进行浓度检测。
小巧、可随意安装,不必选择设置空间。
具有超群的性价比,最适于生产线中的浓度管理。
在线气体监测仪 IR-150系列是使用了NDIR法(非分散型红外吸收法)的半导体气体浓度监测仪。
它可以在线检测用于化合物半导体制造工艺的液体材料 TMAI、TMGa、TMIn、DEZn 等固体以及液体材料中发生气化的气体浓度。
因为汇率经常变动,以上产品价格只做参考!不做下单依据!请见谅!谢谢合作!
运营商:深圳市杉本贸易有限公司
服务承诺:本产品全国联保,享受三包服务,质保期为:一年质保。如因质量问题或故障,
凭厂商维修中心或特约维修点的质量检测证明,享受7日内退货,15日内换货,
15日以上在质保期内享受免费保修等三包服务!
产品咨询电话:86-755-83501888 400-885-3088(全国免费)
售后服务电话:86-755-33072999 (0)13728614294(24小时服务)
官方网址:http://www.sugimoto.cn
电子邮件:info@esugimoto.com
服务理念:您的每一次关注,都会改变我们的成长!您的每一次支持,都会改变我们的未来!